烘箱选型依据及理由 因为烘箱用在光刻工艺， 所以对其的洁净度要求比较高， 同时用于膜的固化 等工艺， 保持片内的均匀性、 温控系统也是要求较高。 烘箱的生产厂家国内和国 外都比较多， 用途也是多元化的， 从价格角度考虑， 则把国内生产的烘箱放在首 位， 因为不论是售后服务还是备件购买都会相对容易一些， 价格很低很多。 但光 刻工艺中要求严格控制烘箱产生的颗粒度。
隧道烘箱的干燥特点
(1)快速隧道于燥室产量高，投资低，大力推广经济上可行。
(2)对高敏感性原料进行瘠化处理，降低干燥收缩和干燥敏感系数，实现快速干燥技术上是可行的。
(3)适当提高送风温度、湿度和空气速度，蒸汽加热原料有利于提高干燥速度，缩短干燥时间。
(4)把握好干燥各个阶段，找准干燥临界点，加速坯体干燥内扩散和外扩散，是实现快速干燥的主要途径之一。
(5)建议在设计和建造快速隧道干燥室时，应对原料进行干燥性能试验。
定购烘箱时应该注意哪些问题?
　一，烘箱尺寸大小。　　
　　二，使用的zui高温度（可定做）。　　
　　三，烘箱的内外材料，（工作环境有无腐蚀）。　　
　　四，烘烤的产品是什么形状，采用什么样的烘烤方法：（例如：1.烘烤粉末要用托盘，2.烘烤五金件大多使用网板，3，重量过重的要使用小车）。　　
　　五，运风方式：方水平运风、垂直水平运风（咨询时应说明产品形状）。　　
　　六，工作电源：设备电压是否符合工作现场现有电源，设备总功率是否超载。　　
　　七，把烘箱移到安装位置是否有门，要注意门的大小。　　
　　八，烘箱外观采用什么颜色(可选择）。

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