电容式压力传感器的温度特性好,所以国内对其温度效应的研究很少。但随着mems技术的发展,人们对传感器的性能要求越来越高,传感器的温度特性也开始受到人们的重视。接触式或非接触式压力传感器都存在一定的温度效应,如果能消除温度影响,保证良好的压力特性,将使得传感器具有更良好的应用前景。介绍基于soi硅/硅键合工艺的接触电容式高温压力传感器的结构及测试装置,通过对传感器真空和大气环境下的高温测试来分析温度对传感器测试结果的影响。
人们为了从外界获取信息,必须借助于感觉。
而单靠人们自身的感觉,在研究自然现象和规律以及生产活动中它们的功能就远远不够了。为适应这种情况,就需要传感器。因此可以说:传感器是人类五官的延长,又称之为电五官。
传感器是一种能将物理量、化学量、生物量…等转换成电信号的器件。其输出信号有不同形式,如:电压、电流、频率、脉冲…等,能满足信息传输、处理、记录、显示、控制要求,是自动检测系统和自动控制系统中不可缺少的元件。
传感技术与仪器或仪表技术相关联。
如果把计算机比作大脑,那么传感器则相当于五官。
传感器能正确感受被测量并转换成相应输出量,对系统的质量起决定性作用。自动化程度越高,系统对传感器的要求越高。
在今天的信息时代里,信息产业包括信息采集、传输、处理三部分,即:传感技术、通信技术、计算机技术。
在物联网迅猛发展的背景下,传感器产业有望率先受益。从网络结构来看,物联网可分为感知层、网络层和应用层。感知层位于物联网三层结构中的最底层,是构成物联网的核心基础。在物联网运行中,传感器将感知获取到的物理、化学和生物等信息,转化为易识别的数字信息,并传输至后端平台处理、分析和应用。随着物联网时代的到来,传感器被广泛应用于消费电子、汽车工业、生物医疗等领域,需求量与日俱增。
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