蒸镀前清洗机
蒸镀前清洗机 产品详情
项目
说明
设备名称
蒸镀前清洗机（适用普通lcd与amoled工艺产品）
基板尺寸
g2.5~g8.5
适用工艺
适用于蒸镀前清洗
控制方式
cim系统+plc系统
工艺流程
loading→euv→brush→rinse→bj→hpmj→ms+finalrinse→ak→unloading
洁净等级
class100
tacttime
视工艺而定
工艺效果
1）优于98%的洗净率（1~10μm）；
2）无mura，无水痕，无rollermark；
3）接触角（素玻璃测试）。
设备特点
具备fixtype，scaningtype模式碎片感应；
cim通讯功能与完善的数据记录功能；
滚刷自动高度调整与每根滚刷单独控制功能；
滚刷水平度调整功能；
的slitbj系统，高打击力，高洁净度；
水平衡系统，节约用水；
干湿分离，传动分离，优于class100的内部工作环境；
高精密系统，流量分布均匀性全局控制在2%以内；
高精密液刀、高精密风刀；
具备槽体清洗功能，清洗液独立管路排放，减少厂务负担；
加热器多重保护，泵浦多重保护功能；
完善的安全措施：软件+硬件多重保护；
液刀、风刀智能开启与关闭功能，节约能耗。
真萍科技作为专业的烘箱设备制造厂商，可根据客户特殊需求定制您需要的满意产品，有需求的客户。